显微镜和显微镜系统
 
JP2011265063  2011-12-2  发明申请

2013-6-13
 
  要解决的问题 : 在不增加整个装置的尺寸,一物镜被涂覆有一高度精密温度控制。溶液 : 该显微镜,并形成一种对被检查对象的图像和物镜透镜40,该热传输部件50a1b和围绕所述腔室501包括一物镜透镜40,该腔室501的内侧到供给温度调节空气和一个温度控制装置502,所述热传输部件50a1b和热连接到一个热交换器和一个空气热交换器503和,被提供。选择的绘制 : 图。5
 
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