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扫描投影无透镜显微镜系统
CN201180048639.1 2011-10-25 发明申请
2013-6-12
扫描投影无透镜显微镜设备包括试样表面、具有光元件的扫描照明源、在试样表面外部的光探测器、和处理器。扫描照明源将光元件扫描到多个扫描位置以对试样表面上的物体提供照明。光探测器对相应于多个扫描位置的一系列亚像素移动投影物体图像采样。处理器基于该系列亚像素移动投影图像和在所关注的平面处的投影的运动矢量来构建物体的高分辨率图像。
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