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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

一种临界尺寸扫描电镜机台

CN201220575933.X 2012-11-1 实用新型

2013-6-12

一种临界尺寸扫描电镜机台，其包括交换腔、中转腔、测量腔、用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、抽气泵，所述支撑台上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台停止运动的紧急制动装置。本实用新型通过设置紧急制动装置，使得临界尺寸扫描电镜机台在支撑台正常退片突发抽气泵跳掉时，支撑台在自动升起过程中紧急制动，减少夹伤晶圆的风险。