| 所述沟槽的深度和所述沟槽的深度测量装置和方法用于测量共焦显微镜 |
| JP2011258673 2011-11-28 发明申请 |
| 2013-6-10 |
| 要解决的问题 : 沟槽的宽度大约相同波长的光用于照明一高纵横比和测量所述沟槽的深度和所述沟槽的深度测量装置可以被实现。溶液 : 该照明光学系统，用于产生一个线光源装置1-4的照明光束和所述光束投射向该样品具有一物镜透镜6，和所述物镜的光源装置在所述光瞳位置透镜的所述沟槽之间和在所述纵向方向平行的线状pupile图案被形成。所述线状pupile图案通过所述物镜是形成有一沟槽，该沟槽，从而以横所述样品表面7和形成线状照明区域。此外，照明光的线性偏振的光作为照明光，该电场矢量的方向，基本上平行于所述沟槽的所述纵向方向。所述线性偏振的光的照明光在所述纵向方向的所述电场矢量方向通过设定该沟槽，所述沟槽是降低光损耗，沟槽的照明光至所述可进入所述的内，所述深度可以与高精度测量。选择的绘制 : 图。1 |
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