| 扫描电子显微镜和其自动聚焦方法。 |
| JP2011259903 2011-11-29 发明申请 |
| 2013-6-10 |
| 要解决的问题 : 扫描电子显微镜观察该样品包含多个所希望的位置中的不均匀的具有高精度可以提供一种扫描电子显微镜进行。溶液 : 该扫描电子显微镜，焦点和所观察的放大倍率或更小，在一个部分的范围聚焦焦点距离被确定，该焦距该图像被存储在所述前后的。这被用于所有可能的执行的焦点距离，然后，基于所存储的图像，每个焦距长度在所述相邻区域的聚焦范围被获得。这种后，所存在的多个所述显示装置上的位置在所观察的场围绕一候选聚焦或帧，由标记指示。一个用户选择或帧，从而标记，所述焦点距离被再次聚焦在该位置中作为一种中心，以聚焦，所述所述透镜的焦点距离，以给出最佳激发条件，设定。选择的绘制 : 图。1 |
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