所供给的探针与所述模型的方法,用于所述扫描探针显微镜
 
RU2011149318  2011-12-5  发明申请

2013-6-10
 
  1。该模型所供给的探针与所述的方法,用于所述扫描探针显微镜,其之前的过程该级的发生所述交替的所述的发动机的工作电源与所述完全拉出扫描器还该级的所述的扫描器的先进性与所述的关闭供应直到该阶段的一个上的发动机所述的扫描器的先进性,所述探针证明是靠近所述模型的点,使其特征在于,所述该级之前的事实所述的前进的扫描器,扫描器管理所述反馈回路,该操作点的反馈环扫描器的前进逐渐改变所述的每个阶段之前,基于所述输入信号的所述值开始在该时刻的反馈环路所述的开始的这个阶段,因此,为了反馈,前进扫描器,开始基于所述完全拉出状态,其完善这些改变,直到扫描器证明是完全先进的或所述点obraztsa附近的探头将不证明是[]。2。[P]上的方法。1,其特征是由所述的事实所述邻近所述探针的点到该模型是确定的作为远为一尖锐的所述的所述的前进速度中降低[skanera]。3。[P]上的方法。1,其特征是由所述的事实所述功率注册探头传感器与所述的光学系统被用于作为所述探头,该过程期间发生电源的所述激励功率的所述控制台的所述波动的探针传感器,所述探针的点和所述的附近到该模型被确定为远作为该尖锐的跳跃所述信号的所述的相的[kolebaniy]。4。[P]上的方法。1,其特征是由该事实,即第一级的所述电源的所述发动机的工作没有不停止,直到所述输入信号的反馈环路变化下该值分配以前,作为一种相互作用的结果所述探针的点的基于[obraztsom]。5。[P]上的方法。1,其特征是由所述改变的事实所述的速率在所述之前反馈环路的操作点该级的前进所述扫描
 
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