| 校准装置用于光栅电子显微镜 |
| UAU201213973 2012-12-7 实用新型 |
| 2013-6-10 |
| 一种光栅电子显微镜校准装置，其包括单元的归一化的测量信号， 单元确定的弯曲点测量信号， 单元确定的测量信号的控制点之间的距离， 单元的计量特性的评价和单元的平行度的验证标准样品的安装线 光栅扫描电子显微镜。该装置还包括卡尔曼滤波器， 单元的双分化， 单元的近似Heaviside函数， 单元近似误差最小化， 在所述的输出单元的归一化的测量信号连接到输入卡尔曼 滤波器输出，其连接到所述的输入单元的近似Heaviside函数和输入 双微分单元的输出连接的输入单元，用于确定所述弯 点的测量信号。 |
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