一种光学显微镜自动聚焦检测装置
 
CN201220694291.5  2012-12-14  实用新型

2013-6-5
 
  本实用新型公开了一种光学显微镜自动聚焦检测装置,包括摄像头、自动聚焦检测结构和物镜;自动聚焦检测结构包括自动聚焦本体和安装架;安装架内设有中空内腔;近红外半导体激光器位于中空内腔上部,反射镜置于近红外半导体激光器下方,且与近红外半导体激光器轴线之间有45°夹角;位置传感器PSD和二向色镜分别位于中空内腔拐折处和底端出口处,二向色镜位于物镜轴线上方并向右倾斜45°;检测电路板包括检测电路模块,用来检测激光束在位置传感器PSD上的位移变化量。本实用新型提供了一种光学显微镜自动聚焦检测装置,它能在采用高倍率物镜进行全景扫描时,对焦点进行实时修正,且还具有聚焦速度快、聚焦精度高以及抗干扰能力强等优点。
 
仿站