| 电子源，电子射束脉冲发射装置，和电子显微镜 |
| JP2011247257 2011-11-11 发明申请 |
| 2013-5-30 |
| 要解决的问题 : 以提供一个电子源能够便于控制的一种电子的束。溶液 : 一个电子源(100)包括一个电子束发生部(10)，它产生一个电子束加速通过一通过使用脉冲激光产生的唤醒领域的激光光束(L1)和一个电子束控制部(20)，其控制电子与一激光束通过使用脉冲激光束产生的唤醒领域(L2)。这种电子源(100)被适当地使用与一个组合的一个电子束扩展器(110)和一个电子集束压缩机(120)。版权 : (C)2013，inpit |
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