| 扫描探针显微镜的悬臂，用于制造所述相同的方法，用于检查热-辅助的磁头元件的方法，和装置，用于所述相同 |
| JP2012116361 2012-5-22 发明申请 |
| 2013-5-23 |
| 要解决的问题 : 以检查一热辅助通过测量两个磁头的近场光和一个磁场要由所述热产生的辅助磁头。溶液 : 一悬臂的一扫描探针显微镜是由被提供有 : 一杠杆在其一个探针一板状构件是形成在所述的尖端部; 形成一磁材料膜等所述探针的所述表面上的一薄的膜的所述杠杆; 和一种贵金属，含有贵金属的金属或合金的精细颗粒薄膜形成在所述该磁材料膜的表面。另外，一种检查装置的检查用一种热-辅助的磁头元件是提供具有 : 所述悬臂在其一磁膜是所述的表面上形成所述探头，和所述贵金属，所述的细颗粒的所述合金含有贵金属的金属或所述薄膜是所述的表面上形成所述磁膜; 用于检测所述悬臂的振动位移检测装置; 近场光检测装置，用于检测由于所产生的近场光扩散的光从一近场光产生部，和增强由所述贵金属，所述的细颗粒该合金含有贵金属的金属或所述薄所述悬臂的所述探头的膜; 和用于处理一种信号处理装置通过获得被检测的所述位移检测装置和所述近场光检测装置。版权 : (C)2013，inpit |
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