| 扫描传输电子显微镜，和样品观测方法。 |
| JP2011244082 2011-11-8 发明申请 |
| 2013-5-23 |
| 要解决的问题 : 以提供一个电子显微镜装置，一个样品的制造方法和一种观测方法用于执行一种厚膜的SEM观察样品使用一电子显微镜在图像分辨率在原子级，和与高放大率精度。溶液 : 一扫描传输电子显微镜中，电子束的像差校正器校正像差，和一摄像机观察样品的电子束衍射图像和ronchigram是提供一种电子束路径上，所述像差校正器是通过使用获取的所述ronchigram调整由所述的照相机，所述电子束的照射方向，以该样品是通过使用所述电子束衍射图像调整由所述照相机获取的，所述照射样品与所述调整电子束以检测一个二次电子要从所述电子束的照射位置产生的; 和一个样品图像是所述的基础上形成一信号的所述次级电子。版权 : (C)2013，inpit |
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