| 光学相干层析X射线摄影的监视显微镜 |
| KR1020110127595 2011-12-1 发明授权 |
| 2013-5-22 |
| 目的 : 一种光学相干断层造影监视显微镜是提供以同时供应一种光学相干层析X射线摄影图像和一种表面图像在该通过照射光至所述相同的样品相同的样品位置的位置作为一种显微图像提供单元通过一种样品的路径部分。 体质 : 一种样品是位于在一种样品夹持器(100)。一种显微图像提供单元(200)包括一个第一对象的透镜(220)，一种分束器(240)，和一种眼透镜(260)。一种光学相干层析X射线摄影图像提供单元包括一个光学耦合器，一种参考路径的一部分，一种样品的路径部分(320)，一个光学检测器(360)，一种信号处理单元，和一种图像输出单元。该样品路部分包括一种二向色镜(322)，一个准直器，一种光路改变单元(326)，和一种第二目的透镜(328)。该光学检测器检测的干扰信号的信号光和参考光组合从所述的光学耦合器。< BR > 版权 kipo 2013 < BR > |
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