| 电子显微镜与一真空结构和样品交换的方法，其 |
| KR1020110117117 2011-11-10 发明申请 |
| 2013-5-21 |
| 目的 : 一电子显微镜和其样本交换的方法是通过制备一种第一提供，以减少待机时间和第二的空气阀。 构成 : 第第一真空线(131)被连接到一本体管(120)位于在其一个电子枪是位于。一个第二的真空线(132)被连接到一个腔室(110)。一个第三的真空线(133)与第一和第二是组合真空线。一个主泵(160)被连接到第三的真空线。所述主阀控制所述内部空气的入口位于在第三真空线。第第一空气阀(151)被连接到第三的真空线。第一所述外部空气的空气阀控制的条目。第第二空气阀(152)被附着到所述主泵。第二所述外部空气的空气阀控制的条目。 [参考标号](110)的室; (120)本体管; (160)主泵(TMP); (170)备份泵(rvp) 版权kipo2013 |
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