| 扫描探针显微镜和控制方法，其 |
| JP2011227114 2011-10-14 发明申请 |
| 2013-5-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够测量的样品的表面形状稳定地与高精度，即使该样品由一种软的部分和一硬的部分。溶液 : 一扫描探针显微镜包括 : 一个悬臂12具有一探头11在其自由端; 一位移检测单元15用于输出所述的悬臂12的一位移信号; 一个激励单元14用于振荡该悬臂12; 和一个扫描单元20用于三-维和相对移动样品19和所述探头11。一个混合信号计算单元30提供一个激励信号到所述激励单元14，并包括 : 一个幅度信息检测单元，用于产生一个振幅信号包括一个所述位移信号的幅度上的信息; 一相位的差值信息检测单元，用于产生一相位信号包括一个相位上的信息的差所述位移信号和所述激励信号; 和加法处理单元，用于加入所述幅值信号和所述相位信号以产生混合信号。一控制器25控制该扫描单元20和包括一个用于控制一个距离Z的控制单元26该样品19和所述探针11之间根据所述混合信号。版权 : (C)2013，inpit |
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