| 扫描探针显微镜和相位调整的方法，其 |
| JP2011227115 2011-10-14 发明申请 |
| 2013-5-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够容易地校正的一种变化的检测灵敏度在相位检测出现的每个悬臂的变化。溶液 : 一扫描探针显微镜包括 : 一个悬臂12具有一探头11在其自由端; 一位移检测单元15用于检测所述的悬臂12的位移，以输出一位移信号指示所述位移; 一个激励单元14用于振荡该悬臂12根据所述激励信号; 一个扫描单元20用于三-维和相对移动样品19和所述探头11; 和一个用于产生一相位信号相位检测单元34包括一相位上差信息的所述该悬臂12的位移信号和一个同步信号与所述激励信号同步。所述相位检测单元34具有一相位调整单元35可调整的一相的所述同步信号。所述相位调整单元35能够给出一相位偏置的用于消除一个初始相位差现有当所述的探针11和样品19是进行接触，所述位移到所述的相位差异信号和所述同步信号。版权 : (C)2013，inpit |
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