| 扫描电子显微镜 |
| WOJP12072839 2012-9-7 发明申请 |
| 2013-5-10 |
| 一个外透镜物镜和一snorkel物镜透镜分别具有优点和缺点。该配置用于一物镜透镜和一个检测器能够snorkel物镜的两个所获得的优点和所述外透镜物镜是为了获得高分辨率和所需的期望的图像质量的用于一种广泛使用扫描电子显微镜。根据本发明，所述磁-一个物镜(7)的场特性是模拟和所述的形状所述的物镜(7)是确定从所述轨道(26)的背散射电子由于泄漏磁场从所述的物镜(7)。从而，所述背散射电子的轨道上的该效果由于所述物镜的泄漏磁场透镜由于一个变化的同时降低图像质量的变化在所述物镜的操作距离是最小化，使得一高产量和高-分辨率的图像可以被获得作为与一个snorkel物镜透镜。 |
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