| 透射电子显微镜和TEM图像观察的方法 |
| EP12190836 2012-10-31 发明申请 |
| 2013-5-8 |
| 一传输电子显微镜(TEM)是提供可以减少所述磁场的效果在一个样品在TEM观察的图像。所述透射电子显微镜(100)包括一个电子束源(2)，一种照明透镜(4)，第一的物镜(6)，第二的物镜(8)，一选择的区域孔(16)，一投影透镜(10)，一个检测器(12)，和一个控制部分(22)。该控制部分控制至少所述照明透镜(4)，第二的物镜(8)，和投影仪透镜(10)。一第一平面(17)是位于第二之间的物镜(8)和所述投影透镜(10)。所述控制部分(22)执行用于控制所述照明透镜第一的设定处理(4)，使得电子光束(L)命中该试样(S)，控制第二的物镜的透镜(8)，使得一衍射图案所述样品(S)成像到第一平面(17)，和控制该投影仪的透镜(10)，使得TEM图像该样品(S)由第二形成的物镜(8)被聚焦到一个第二平面，其中所述光敏感部分(13)的所述检测器(12)被设置。 |
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