| 扫描显微镜 |
| JP2011218839 2011-10-3 发明申请 |
| 2013-5-2 |
| 要解决的问题 : 提供一扫描显微镜，其可以得到一种样品的图像超出一个光学一个光学系统的限制。溶液 : 一扫描显微镜10包括 : 一照明光学系统，其扫描样品70与照明光照射从一光源装置20使用一种扫描光学系统30; 一个光从所述试样采集光学系统，其引导所述的光70以一检测单元(例如，第一检测单元40); 和一控制单元100控制所述的照明光在所述样品的扫描位置70通过所述扫描光学系统30，和控制所述的照明光的强度，以改变到被所述1\/第n功率一正弦的波形根据与所述扫描位置中。这里，n是一个整数等于或大于1。版权 : (C)2013，inpit |
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