| 光学装置、位置检测装置、显微镜装置和曝光装置 |
| US13648356 2012-10-10 发明申请 |
| 2013-5-2 |
| 本发明提供一种装置，包括光圈，光圈包括第一光圈，第一光圈被配置为限定用于将照明表面照明到第一条件的照明条件， 以及第二光圈，其被配置为将所述照明条件限定为第二条件， 并且固定在照明光学系统的光瞳面上、遮光板和驱动单元，所述驱动单元被配置为 : 当将照明条件设置为第一条件时，遮光区域遮挡从光源延伸通过第二孔到照明表面的第二路径；当将照明条件设置为第二条件时，遮光区域遮挡从光源延伸通过第一孔到照明表面的第一路径。 |
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