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原子力显微镜的自动调谐

US13283756 2011-10-28 发明申请

2013-5-2

一种原子力显微镜(AFM)，包括物理系统和控制器，所述控制器包括多个数字滤波器并被配置为控制所述物理系统。通过对由物理系统的频率响应和控制器的频率响应定义的环路响应执行自动环路成形，并根据环路响应幅度中的峰值调节控制器的增益，来调谐AFM。