| 扫描电子显微镜具有一个电子光束对准功能，和用于控制一文氏滤波器的方法用于一扫描电子显微镜 |
| WOKR11008082 2011-10-27 发明申请 |
| 2013-5-2 |
| 本发明涉及一种用于控制一文氏滤波器的方法用于一种扫描电子显微镜。所述的方法，用于控制所述文氏滤波器，用于所述扫描电子显微镜被用于一种扫描电子显微镜其检测通过使它们通过所述文氏滤波器的电子进入一检测器及其制造方法，其中所述的电子被发射的电子产生的光束从光源进入后一样品通过所述文氏滤波器。所述的方法，其特征在于，包括 : 所述生产一个最终电场和最终的磁场，其被施加到所述文氏滤波器，以允许所述的电子光束穿过所述文氏滤波器，以达到一目标所述样品上的点和，在所述相同的时间，以允许所发射的电子从所述样品和通过所述文氏滤波器，以达到所述检测器; 和所述的应用所述最终电场和最终的磁场到所述文氏滤波器。 |
微信公众号