| 扫描电子显微镜用威恩滤质器的控制方法及具有电子束校准功能的扫描电子显微镜 |
| TW100139223 2011-10-27 发明申请 |
| 2013-5-1 |
| 本发明涉及扫描电子显微镜用威恩滤质器的控制方法，应用於这样一种扫描电子显微镜：使得从光源产生的电子束通过威恩滤质器而射入试样後所放射的放射电子通过所述威恩滤质器後射入检测器，以检测所述放射电子，所述控制方法的特徵在於，包括：计算步骤，用於计算需要对所述威恩滤质器施加的最终电场及最终磁场，所述最终电场及所述最终磁场用於使通过所述威恩滤质器的电子束到达所述试样的目标点，并且使从所述试样放射并通过所述威恩滤质器的放射电子到达所述检测器；以及施加步骤，对所述威恩滤质器施加所述最终电场及所述最终磁场。根据本发明，提供一种在没有额外装置的状态下，能够通过威恩滤质器控制电子束达到试样上的所需目标点的扫描电子显微镜用威恩滤质器的控制方法。 |
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