| 用于电子显微镜的微加工高带通傅科孔径 |
| US13708521 2012-12-7 发明申请 |
| 2013-4-25 |
| 公开了一种福柯(刀口)孔径的变型,其被设计成在透射电子显微镜中在低空间频率处提供单边带(SSB)对比度,但在高空间频率处保持常规的双边带(DSB)对比度。 所述孔包括具有内部开放区域的板、在所述开放区域的边缘处从所述板延伸的支撑件、安装在所述支撑件上并位于所述孔开放区域的中心的半圆特征部。 倒易空间中被孔径阻挡的半圆部分的半径可以改变,以适应电子显微镜研究的需要。 孔由导电材料制成,该导电材料优选是非氧化性的,例如金。 |