| 扫描透射式电子显微镜 |
| US13806805 2011-5-16 发明申请 |
| 2013-4-25 |
| 本发明公开了一种扫描透射型电子显微镜，其设置有扫描透射电子显微镜，该扫描透射电子显微镜设置有像差校正器805，用于校正将电子束照射到样品(808)的电子光学系统的像差； 亮场图像检测器(813)，用于检测已经透射通过样品的电子束； 照相机(814)； 以及用于处理由检测器检测到的信号的信息处理设备(703)。 该信息处理设备将由检测器获得的棱镜图划分为多个区域，并且根据要针对多个区域中的每一个获得的离轴散焦{C1(τ)}的值以及从棱镜图的中心到多个区域的中心的距离(τ)来计算反映轴上二次逗号像差(B2)的幅度和方向的特征向量(W；903)，并且还利用特征向量计算轴上二次逗号像差的校正条件。 这样，能够提供能够在短时间内有效地校正轴上二次逗号像差的扫描透射型电子显微镜。 |
微信公众号