| 扫描电子显微镜 |
| WOJP12074924 2012-9-27 发明申请 |
| 2013-4-25 |
| 以提供一种扫描电子显微镜，其可以检测任何放电的反射电子的角度，该扫描电子显微镜，其通过检测获得的图像的电子从一个样品(19)具有 : 一个控制电极(18)之间的判别二次电子从所述样品(19)和反射的电子; 一个二次电子转换电极(13)，其产生二次电子由所述反射电子的冲击; 一抽出电极(12)，其滞留在那些二次电子; 一种能量滤波器(11)所述二次反射的电子抽出和电子之间的判别从所述样品(19); 和一个控制计算装置(36)，其选择一个电压施加到所述二次电子转换电极的组合(13)，所述抽出电极(12)，和能量滤波器(11)。 |
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