| 一种估计并补偿扫描探针显微镜中温漂的方法 |
| CN201210564315.X 2012-12-21 发明申请 |
| 2013-4-24 |
| 本发明公开了一种估计并补偿扫描探针显微镜中温漂的方法，用扫描探针显微镜在固定的采样间隔下获得样品表面图像后，将每幅图像分别划分为若干块并进行梯度化处理，使用相位相关法计算相邻采样时刻获得的图像在x及y方向的漂移量，运用密度聚类DBSCAN算法剔除噪声数据后计算图像整体漂移量；然后用神经网络方法根据前几次的漂移量及当前近场温度数据预测下一采样时刻的漂移量，并根据实际测量计算得到的漂移量数据改进神经网络参数；预测得到的下一采样时刻漂移量作为前馈信号输入给控制器，控制器据此做出补偿，从而抑制温漂，实现自动控制；本发明可以有效抑制在没有严格温湿度控制的环境下，扫描探针显微镜随时间的推移所产生的温漂。 |
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