| 扫描探针显微镜悬臂及其制造方法、热辅助型磁头装置的检查方法和装置 |
| US13650985 2012-10-12 发明申请 |
| 2013-4-18 |
| 为了检测热辅助型磁头产生的近场光和磁场并进行磁头的检查，扫描探针显微镜的悬臂具有形成探针的杆、形成在探针表面上的薄磁膜、和形成在磁膜表面上的贵金属或包括贵金属的合金的微粒或薄膜。 一种检查装置，具有 : 悬臂；位移检测单元，检测悬臂的振动；近场光检测单元，检测由近场光发射器产生并在悬臂的探针表面上增强的近场光引起的散射光；以及处理单元，处理通过用位移检测单元和近场光检测单元进行检测而获得的信号。 |
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