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产业专利数据

基于扫描探针显微镜的真空隔板计量工具

US13705701 2012-12-5 发明申请

2013-4-18

提供了一种监测半导体工艺的方法，包括使用扫描探针显微镜(SPM)监测工艺，其中第一隔板位于第二隔板下方，其中第二隔板与第一隔板气密隔离，其中SPM的SPM探针尖端设置在第一隔板中，其中SPM的剩余部分设置在与第一隔板气密隔离的第二隔板中，并且其中半导体工艺可以发生在第一隔板或第三隔板中。