| 扫描探针显微镜和控制方法及其 |
| WOJP12075688 2012-10-3 发明申请 |
| 2013-4-18 |
| 一个扫描探针显微镜包括一个悬臂(12)具有一个探针(11)在一自由端，一位移检测单元(15)，用于输出所述位移信号的所述悬臂(12)，一振动激励单元(14)用于振动所述悬臂(12); 和一个扫描单元(20)用于三-维和相对移动一个样品(19)和所述探头(11)。一个混合信号生成单元(30)包括一个幅度信息检测单元(31)用于提供一种振动激励信号以所述振动激励单元(14)和产生一个振幅信号包括所述位移有关的信息到所述的振幅信号，和一相位的差值信息检测单元(32)用于产生一相位信号包括有关的信息到所述相位所述位移之间的差值信号和所述振动激励信号，并将所述幅值信号和所述相位信号到产生一个混合信号。一控制器(25)用于控制所述扫描单元(20)包括一个Z控制单元(26)，和Z控制单元(26)控制所述样品之间的距离(19)和所述探头(11)所述混合信号的基础上。 |
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