| 用于确定并校正显微镜成像光路中球差的装置和方法 |
| CN201210390508.8 2012-10-15 发明申请 |
| 2013-4-17 |
| 本发明涉及一种用于确定显微镜成像光路(7)的球差的方法，采用包含物镜(10)的显微镜(1)对样本(9)进行显微成像，承载或覆盖样本(9)的盖玻片(2)被布置成像光路中，测量光束(130)以偏心的方式在物镜(10)的光轴(8)之外被引导穿过物镜(10)到达样本(9)上，在盖玻片和样本(9)的界面(116)处反射的测量光束(132)被引导穿过物镜(10)到达探测器(128)上，探测器获取反射的测量光束(132)的光强分布，根据所述光强分布，定性和/或定量地确定球差的存在。 |
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