| 方法用于确定沿测量对象部分的上表面的轮廓，涉及改变聚焦显微镜的物镜相对于沿测量轴上表面上的扫描范围在测量路径 |
| DE102011114932 2011-10-6 发明申请 |
| 2013-4-11 |
| 该轮廓与一用于所述确定的过程的一个表面的一个沿一测量对象部分沿所述测量部分beabstandeten一个显微镜物镜是变化的测量点聚焦到每个其它在相对于该表面沿测量轴(Z-轴)扫描范围上。从图像，其被吸收，改变所述聚焦期间，在每种情况下，该表面的高度变得表示电梯信号拔滑道。沿所述测量部分，该扫描范围是根据本发明的自动调节在特定的朝向所述测量轴(z-轴)的轮廓。 |
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