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扫描电子显微镜及利用该装置的原电子电流量的测量方法

TW100135369 2011-9-29 发明申请

2013-4-1

本发明涉及一种扫描电子显微镜及利用该装置的原电子电流量的测量方法。更为具体说明, 在镜筒内部一体形成向原电子及二次电子施加电磁场的过滤器和第一检测器, 在外部未设置额外的检测装置, 使装置变得小型化, 并且检测二次电子的同时能够容易地连续测量原电子的电流量, 以确保检测作业的效率性。