| 具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜 |
| TW100135375 2011-9-29 发明申请 |
| 2013-4-1 |
| 本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜, 本发明具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源生成的原电子(Primary Electron)射入样品, 并检测所述原电子入射後从样品放射出的放射电子, 其特徵在於包括 : 维恩过滤器部, 配置在所述光源和样品之间, 产生磁场和电场, 以将所述放射电子分离成二次电子(Secondary Electron)和反射电子(Back Scattered Electron); 及检测部, 用於检测从所述维恩过滤器分离的二次电子和反射电子。由此, 本发明提供一种利用维恩过滤器分离二次电子和反射电子并加以检测的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜。 |
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