| 获得真实形状的先进原子力显微镜扫描 |
| US13559034 2012-7-26 发明申请 |
| 2013-3-28 |
| 介绍了先进的原子力显微镜(AFM)方法和设备。 一个实施例可以包括以第一角度执行第一扫描，以第二角度执行第二扫描，以及基于第二扫描校正第一扫描中的系统漂移误差。 另一个实施例可以包括执行第一区域的全局扫描、第一区域内的第二区域的局部扫描、基于全局扫描校正局部扫描中的调平误差、以及输出校正后的样本图像。 另一实施例可包括使用相同的扫描角度和扫描尺寸在第一位置处以第一角度执行第一扫描，在平坦区域处执行第二扫描，以基于第二扫描校正第一扫描中的扫描器跳动误差。 |
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