| 一种石英音叉原子力显微镜系统 |
| CN201110268724.0 2011-9-13 发明申请 |
| 2013-3-27 |
| 本发明公开了一种利用石英音叉控制原子力显微镜针尖和样品间距方法，以及基于该方法搭建的一种石英音叉原子力显微镜系统。该系统包括原子力探针(1)、石英音叉探测器(2)、石英音叉驱动和探测电路(3)、三维样品位置控制器(4)、原子力显微镜控制器(5)以及原子力显微镜的其他装备，如防震隔离，进针马达控制等(6)。其中石英音叉驱动和探测电路(3)包括两个幅度相同但相位相反的信号源A和B，他们的频率和幅度同时可以调节，其中信号源B连接一个电容，信号源A连接石英音叉探测器。石英音叉探测器的另一端和电容的另一端以及一个电阻连接，电阻的另一端接地。电阻两端的电压差通过放大器放大后经锁相输出。 |
微信公众号