介电特性的测量方法利用原子力显微镜
 
JP2011190981  2011-9-1  发明申请

2013-3-21
 
  要解决的问题 : 以允许介电特性例如本地介电弛豫特性在样品浸在一种待测液。溶液 : 一个由幅度调制一个载波波电压产生的激励电压具有一个通过一个f0的频率调制FM波的电压具有一频率是一薄金属膜5a之间施加一个悬臂5上形成一种原子力显微镜和一样品架2的其上的一导电样品3被放置从一个励磁电压生成部21。当所述比一个介电弛豫频率f0的频率变得更高的一种双电层的一个所述悬臂之间的界面表面5和一液体,一探针6之间的静电作用的力引起的振动和所述样品3是感应由该悬臂5。作为一个结果使所述的静电的力具有探针-样品距离的依赖,本地样品3上的介电特性可以可以通过检查得到的频率的色散特性。版权 : (C)2013,inpit
 
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