| 扫描电子显微镜 |
| JP2011192266 2011-9-5 发明申请 |
| 2013-3-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一观察或测量样品的方法和装置在高速与高精度的同时，限制所述的冲击束电子束的直径增加由于到图像移位。溶液 : 当扫描一区域小于一个预定的扫描宽度与一个电子束，使用图像执行滚动当一目标所述电子束的照射位置移在一个样品是第二范围内小于一第一范围内能够控制所述图像的移位，否则级的运动被执行。由于该滚动量可以通过相对增加用于级的条件下不影响运动图像移位所述光束直径，观察和测量的样品可以进行在具有高精度高的速度。版权 : (C)2013，inpit |
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