| 光学显微镜自动聚焦装置 |
| US13608404 2012-9-10 发明申请 |
| 2013-3-21 |
| 一种用于光学显微镜的聚焦装置，可以包括 : 发光单元，被配置为发射具有特定波长的激光， 楔形反射镜，其被配置为使得发射的激光能够入射到试样表面的多个位置上， 第一和第二光接收单元，被配置为检测从所述样本的表面反射的激光的量；空间滤光器，被配置为从从所述样本的表面反射的光束中消除失焦光并检测聚焦光的量；以及控制单元，被配置为使用由所述第一和第二光接收单元和所述空间滤光器检测的多个光量信息来生成用于执行所述光学显微镜的聚焦调节的控制信号。 |
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