| 电位测量装置，和原子力显微镜 |
| WOJP12005773 2012-9-12 发明申请 |
| 2013-3-21 |
| 该电位-测量装置(100)被提供有 : 一电极(104); 一位移测量单元(212)，用于输出一电压对应到一样品和所述电极之间的静电力; 一第一AC电源(101)用于施加第一所述样品和所述电极之间的交流电压; 一第二AC电源(102)用于添加一种第二具有一频率的交流电压从第一不同交流电压，以第一的交流电压和施加电压; 和一信号检测单元(218)用于输出所包含的一特定频率分量的大小在所述的输出所述位移-测量单元。所述信号检测单元输出到一个电位-计算单元，用于计算电位所述尺寸和所述频率分量的相位具有相同的频率作为所述频率的第一交流电压，该频率分量和所述的尺寸具有所述相同的频率作为所述频率之间的差所述的交流电压和频率的第二交替电压，从所述位移测量的所述输出单元，其中所述表面电位的所述样品被测量。 |
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