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扫描电子显微镜

WOJP12072536 2012-9-5 发明申请

2013-3-21

在本发明中，多点测量时出现的图像漂移样品中的降低。获取长度后测量图像，电使用扫描电子束辐照去除的长度测量的功率低于图像采集。在这种情况下，所述扫描区域设置为具有至少20a的放大倍数μm到不超过200aμm方。