| 扫描电子显微镜 |
| WOJP12063632 2012-5-28 发明申请 |
| 2013-3-14 |
| 以提供一个低加速度扫描电子显微镜，其能够区分和检测反射的电子和二次电子，即使与一低探针电流，该扫描电子显微镜是提供与一个电子枪(29)，一个孔径(26)，一个样品表(3)，一个电子光学系统(4-1)用于制造一种电子束(31)会聚在一个样品(2)，一个偏转装置(10)，一个二次电子探测器(8)，一反射电子检测器(9)，和一圆柱形的电子传输装置(5)在一电子枪(29)和样品之间的位置(2)。所反射的电子检测器(9)被设置在所述的电子传输装置(5)和一个侧上进一步离开从所述的电子枪(29)比所述二次电子探测器(8)和所述偏转装置(10)。该接收所述反射表面(9-1)的电子检测器(9)是电连接的，以具有相同电位作为该电子传输装置(5)。 |
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