产业集群信息网

产业专利数据

高速扫描探针显微镜元件的主动阻尼

US13669282 2012-11-5 发明申请

2013-3-7

公开了一种在扫描探针显微镜中主动阻尼内部振动的技术。在SPM的机械装配中，包括共振在内的各种机械运动的激励会对其性能产生不利影响，特别是在高速应用中。致动器用于补偿运动。致动器可以仅在z方向上操作，或者可以在其他方向上操作。致动器可以位于波腹的位置。