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悬臂梁弹簧常数的测定方法及使用该方法的扫描探针显微镜

US13545197 2012-7-10 发明申请

2013-3-7

在扫描探针显微镜等中使用的、在硅工艺中通过各向异性蚀刻形成梯形截面形状的悬臂中，在不直接测量厚度的情况下确定悬臂弹簧常数。悬臂厚度基于梯形截面形状的上基部和下基部长度以及由各向异性蚀刻产生的表面的几何规整性来确定。然后，基于悬臂厚度、悬臂长度和杨氏模量来确定悬臂弹簧常数。