| 显微镜和检查装置 |
| JP2012048949 2012-3-6 发明授权 |
| 2013-3-6 |
| 一系统包括一个显微镜和一个在其中一物镜透镜检查装置具有一大数值孔径是用于检测样品内存在的缺陷。一光源装置产生的线性偏振的光。所述偏振保持光纤光学地耦合到所述光源装置的项目所述线性偏振的光到所述样品表面为一P-偏振的光的照明光束在一个基本上等于所述的布儒斯特角入射角度所述样品。所产生的散射的光通过所述所述样品中存在的缺陷是从所述样品发出的并被收集通过所述物镜的光学轴是垂直于所述样品表面。由于所述的照明光束的P-偏振的光被投影在所述入射角度等于所述的布儒斯特角该样品，没有发生表面反射，它是可能的，以使用所述物镜具有一大数值孔径。 |
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