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光学显微镜装置和测试装置包括相同

WOJP12068300 2012-7-19 发明申请

2013-2-28

本发明允许用于高对比度的观察或捕获用于测试样品从其没有足够的对比度的图像可以被得到的亮场观察，例如具有小的晶片图案中的电平差。根据本发明，一种测试样品是通过使用一个物镜照射用于图像捕获，和一个孔径滤光片被设置在一图像捕获光学系统，从而显著地衰减亮场观察的部件和所述光捕获图像。