像差校正暗场电子显微镜
 
US13657843  2012-10-22  发明申请

2013-2-21
 
  透射电子显微镜包括产生电子束的电子束源。 提供束光学器件以会聚电子束。 包括箔或一组同心元件的像差校正器校正电子束的至少一个球面像差。 提供试样保持器以将试样保持在电子束的路径中。 一个探测器被用来探测穿过样品的电子束。 透射电子显微镜可被配置成在其中未检测到电子束的零束的暗场模式下操作。 显微镜也能够在非相干照明模式下操作。
 
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