| 透射电子显微镜用光学腔相位板 |
| US13487831 2012-6-4 发明申请 |
| 2013-2-14 |
| 一种用于增强电子束成像中的相位对比度的光学相位板系统和方法，包括 : 透射电子显微镜(TEM)，其具有后焦平面； 一种具有高内表面反射率的光学腔， 所述光学腔的中心位于所述TEM的后焦平面处，所述光学腔具有沿所述光学腔的对称轴相对布置的第一和第二端口，以允许由所述TEM提供的电子束通过所述第一端口并聚焦在所述光学腔的中心，并且通过所述第二端口出射，并且其中所述光学腔还具有在横穿所述电子束轴并与所述电子束轴相交的轴上的光学端口以允许激光束入射； 激光器，其耦合到所述光学腔以提供选定波长的激光束以通过所述光学端口进入所述光学腔，其中所述激光束从所述高内表面反射率被倍增反射以提供聚焦在所述TEM的后焦平面处的高强度驻波光学相位板以引起所述电子束的调制； 和与光腔的第二端口相对放置的TEM的像面，以接收由高强度驻波光学相位板调制的电子束。 |
微信公众号