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产业专利数据

提供深度分辨图像带电粒子显微镜

US13572449 2012-8-10 发明申请

2013-2-14

一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括以下步骤 : 使用粒子光柱将至少一束粒子辐射引导到样品的表面S上，从而产生使发射的辐射从样品发射的相互作用，使用检测器装置检测所述发射的辐射的至少一部分，该方法包括以下步骤 : 记录所述探测器装置的输出作为所述发射的辐射的出射角θn的函数，使用计算机处理设备自动地解卷积测量集M并将其空间分解为结果集R={(Vk，Lk)}，其中空间变量V示出参考表面S的相关离散深度层Lk处的值Vk，其中n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示作为其体中位置的函数的样品的物理性质。所述方法包括以下步骤 : 将所述测量集M解卷积并将其空间分解为结果集R={(Vk，Lk)}，其中空间变量V示出参考表面S的相关离散深度层Lk处的值Vk，其中n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示所述样品的物理性质。