包括一个或多个紧密耦合闪烁体-光电倍增管组合的电子检测器和使用该电子检测器的电子显微镜
 
US13566104  2012-8-3  发明申请

2013-2-7
 
  一种电子检测器包括多个组件,所述多个组件包括具有第一SIPM和由直接连接到所述第一SIPM的有源光感测表面的第一闪烁体材料制成的第一闪烁体的第一组件,以及具有第二SIPM和由直接连接到所述第二SIPM的有源光感测表面的第二闪烁体材料制成的第二闪烁体的第二组件,其中所述第一闪烁体材料和所述第二闪烁体材料彼此不同。 或者,电子检测器包括包括SIPM和闪烁体构件的组件,闪烁体构件具有前表面和后表面,闪烁体构件是直接沉积在SIPM的有源光感测表面上的闪烁体材料膜。
 
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