| 用原子力显微镜提供样品的形貌信号 |
| US13249890 2011-9-30 发明授权 |
| 2013-2-5 |
| 公开了一种用于确定样品表面形貌的原子力显微镜(AFM)设备。 所述AFM装置包括 : 控制器，具有控制器频率响应，并被配置为提供控制器输出信号。 该控制器包括提供积分器输出信号的积分器和滤波器块。 该AFM装置还包括具有物理系统响应的物理系统，该物理系统被配置成接收控制器输出信号并响应于控制器输出信号提供探针高度。 所述物理系统包括致动器，所述致动器被配置为保持探针尖端相对于样品表面的偏转。 偏转由偏转信号指示，并且控制器的滤波器块提供物理系统响应的逆，使得探头高度基本上等于积分器输出信号。 |
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